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国内首条GW级HDT电池生产线正式投产

[ 信息发布:本站 | 发布时间:2018-09-20 | 浏览:220次 ]

2018年7月,由福建钧石能源公司(以下简称“钧石能源”)研制的国内首条GW级高效双面发电异质结结构(HDT,High Efficiency Mono-crystalline Hetero-junction Double-sided Solar Cells Technology)太阳能电池生产线(以下简称“HDT电池生产线”)正式投产,该生产线的生产工艺和智能化程度达到国际先进水平,量产的HDT电池单面最高转换效率超过23%,为目前国内最高水平。

HDT电池是一种单晶硅太阳能发电电池,生产线主要包括制绒/清洗、等离子增强化学气相沉积(PECVD)、磁控溅射(PVD)、金属成栅、后处理清洗/测试五个工艺环节。钧石能源历时10年成功研制了该生产线,突破了各个工艺环节的关键技术与装备。在制绒/清洗环节,通过优化调整制绒添加剂的配比,实现了小尺寸金字塔绒面结构,硅片绒面金字塔平均尺寸可控制在1μm以内,使得硅片表面反射率降低10%以上,从而有效提升了电池片电流,进而提高电池的转化效率;在等离子增强化学气相沉积环节,研制的PECVD设备采用独特的射频(RF)电极设计,实现了辉光电极间隙可调,低功率下(5mW/cm2)辉光均匀稳定,有效避免了高功率沉积时等离子体对硅片表面的损伤;在磁控溅射环节,研制的PVD设备采用独特的旋转阴极靶座设计,实现薄膜沉积厚度非均匀性<5%,靶材利用率>80%,产能达到3000片/小时;在金属成栅环节,融入半导体集成电路关键技术,采用高电导率纯金属铜栅线工艺,栅线宽度可控制在40μm以下,电导率达到传统银浆材料栅线的10倍,同时更易于焊接,设备及运营成本仅为传统银浆工艺成本的20%。同时,HDT电池生产线所有工艺均在220℃以下低温中进行,较传统晶硅900℃高温技术节能30%以上。

目前,HDT电池生产线已获得国内发明专利40余项,国外发明专利10余项,具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点,能够为我国高效太阳电池的高质量发展提供有力支撑。

本期关键词:

HDT电池

HDT电池结合了晶硅电池和薄膜电池的优点,在N型的单晶硅片上沉积P型薄膜硅和N型薄膜硅,并与N型单晶硅衬底之间包含一层非掺杂(本征)氢化硅薄膜,改变并提升了PN结的性能,具有制备工艺温度低、转换效率高、高温特性好等特点,单面转换效率比目前市场上的主流晶硅电池组件高出10%~20%,单位面积发电量达到世界领先水平。


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